爱发科真空泵油的特点以及应用

　　目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。下面小编就和大家介绍关于爱发科真空泵油的特点以及应用的内容，欢迎阅读！

爱发科真空泵油的主要特点：

　　1.蒸汽压力极低

　　2.适当的粘度和良好的粘度温度特性

　　3.良好的热氧化安定性

　　4.具有很强的耐腐蚀性和抗乳化性。

爱发科真空泵油的应用：

　　1)多晶硅制备工艺中低压化学气相沉积；

　　2)半导体蚀刻工艺。腐蚀性气体和研磨颗粒常用于这些生产过程中；

　　3)除了半导体工艺外，一些产生颗粒的工艺不希望颗粒与泵油混合，但如果希望颗粒从泵中排出，一定类型的干机械真空泵可以满足要求；

　　4)蒸馏、干燥、脱泡、包装等，在化工、医药、食品等行业，要防止有机溶剂造成污染，适用于干式真空泵；

　　5)前级泵用作一般无油清洁真空系统，防止油污。

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